La salle blanche du CIME Nanotech est issue de la création du CIME en 1981, par décision conjointe de l’INP Grenoble et de l’Université Joseph Fourier. L’objectif à cette époque était d’offrir aux élèves-ingénieurs et étudiants une formation pratique dans le domaine en plein essor de la fabrication de circuits intégrés, au sein d'un centre inter-universitaire. Si la mission principale reste la même, l'offre pour autant se diversifie aussi, avec la possibilité de fabriquer un microsystème ou une cellule photovoltaïque.

Sur une surface de 750 m², la salle blanche du CIME-Nanotech regroupe l’ensemble des moyens technologiques destinés à la fabrication de dispositifs électroniques intégrés sur silicium et à la réalisation d’opérations de micro- et nanotechnologie.

Créée à l’origine pour promouvoir les enseignements de microélectronique en formation initiale, elle s’adapte en permanence à l’évolution des micro- et nanotechnologies, en mettant à la disposition des filières de formation et des laboratoires de recherche des moyens et des équipements de toute première qualité.La salle blanche s’ouvre aux industriels en leur permettant d’accéder à ses infrastructures pour qu’ils puissent valider des équipements et des procédés innovants.

Ces opérations viennent en complément de celles effectuées sur la Plateforme de Technologie Avancée, hébergée en partie au sein de la salle blanche du CIME Nanotech, et qui propose à la communauté scientifique et aux industriels un accès à une offre technologique large et cohérente, ouverte à tout type d’application, tels que les nanosciences, les nanotechnologies, la biotechnologie.


Projets
iCem : Mise à disposition de modules de la salle blanche dédiés aux industriels pour des développement et tests d'équipements, de procédés.
Moyens Techniques
Toute la chaine d'équipements nécessaires à la fabrication des circuits intégrés et des microsystèmes

Nettoyage, oxydation, dopage, traitement thermique, photolithographie, gravures chimiques, dépôts, contrôles
 
Recherche/Valorisation
Certains modules technologiques dédiés de la salle blanche sont mis à disposition pour les industriels afin de leur permettre de valider des équipements et/ou des procédés innovants.
 
La salle blanche accueille les chercheurs des laboratoires académiques pour des opérations technologiques et propose également un support au développement de procédés pour les industriels et PME.
 
Une vingtaine de chercheurs et ingénieurs  issus de différents laboratoires (INAC Spintec, LETI, G2Elab, IMEP-Lahc, LMGP, INL Lyon, PTA, LTM) et d'entreprises (CORIAL et SOITEC).
Représentant 220 heures de recherche et sous-traitance sur les équipements du CIME Nanotech.
 
 
Reservation recherche

Merci de contacter l’équipe technique pour accéder aux équipements en libre-service ou bien pour des demandes d’opérations d’accompagnement ou de sous-traitance.

règlement intérieur de la salle blanche


 
Enseignement/formation
Entre 600 et 700 étudiants, élèves d’écoles d’ingénieurs, de Master, de licence, d’IUT sont accueillis chaque année, générant un volume de 6000 heures-étudiants annuel en salle blanche.
Ils sont issus
de différents établissements d'enseignement supérieur et de recherche : Grenoble INP, Université Grenoble Alpes, Montpellier 2, INSA Lyon, Université de Strasbourg, Université de Nice, Université de Tours.
Ils proviennent d'une trentaine de
formations  : Phelma, Polytech Grenoble, UFR Phitem, ENSE3, IUT Grenoble, Génie Industriel, Polytech Montpellier, Dpt SGM Lyon, Dpt Génie Electrique Lyon, UFR Physique Strasbourg, Polytech Nice, IUT Tours.


Des stages d’initiation à la microélectronique sont également proposés dans le cadre de la formation continue.

Par ailleurs, la salle blanche s’ouvre aux lycéens pour leur proposer une sensibilisation aux nanotechnologies avec des dispositifs innovants tels que Nano@School, inn.Otech (YnotU) (STmicroelectronics), une découverte des métiers des sciences de l’ingénieur (CEVU Grenoble-INP), et aussi au public en accueillant un atelier de la Fête de la Science.

La salle blanche se tourne également vers l’international avec l’école d’été SUMMER SCHOOL (INP) et  l’école européenne ESONN.
L’offre des travaux pratiques est actualisée régulièrement pour être au plus proche des innovations technologiques.



Reservation enseignement

Les TP en salle blanche se font par groupes de 4 étudiants/stagiaires au maximum. Chaque groupe a son propre encadrant formé à l’utilisation des équipements nécessaires au TP.
Ces équipements sont pré-réservés via une demande effectuée par le responsable des différentes filières ; ils sont invités à remplir ce formulaire (un par TP).
Une fois la demande validée, un devis sera transmis.

 

Localisation 
La Salle blanche est située au premier étage du bâtiment BCAI de Minatec Sud, parvis Louis Néel à Grenoble.

Contacts
Responsable pédagogique : Marceline BONVALOT : marceline.bonvalot@cea.fr
Responsable technique : Delphine CONSTANTIN : delphine.constantin@grenoble-inp.fr

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Travaux pratiques proposés, d’une durée variant de 8h à 20h :
BIOPUCE : réalisation par micro-usinage de cuvettes microréacteurs dans le silicium TP biopuce- Biopuce genewave
CAPA MOS : réalisation d'une capacité MOS  intégrée sur silicium, TP capa MOS (fascicule complet), TP CAPA MOS (animation ppsx)
CAPA-DIODE : réalisation d'une capacité MOS et d'une diode intégrées sur silicium TP Capa-Diode (fascicule complet), TP Capa-Diode (animation ppsx)
CHAPRON : réalisation de dispositifs micoélectroniques intégrés sur silicium TP Chapron
MEMS (Micorsystème) réalisation de dispositifs microélectroniques et électromécaniques intégrés sur silicium TP MEMS (fascicule complet), TP MEMS (animation ppsx)
MOSTEC (MOS TEChnology): réalisation de dispositifs microélectroniques intégrés sur silicium TP MOSTEC (fascicule complet), TP MOSTEC (animation ppsx)
PV (PhotoVoltaïque): réalisation de cellules photo voltaïques sur silicium TP PV